低温等离子净化器原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有*潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
根据被处理气体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以足够高的电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。
根据三类的功能区，集中的目的是实现低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法获得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。本工艺集三种技术与一体，原废气的去除率非常理想，高浓度废气去除率可达84%以上。
低温等离子净化器应用领域
适用范围：石油、制药、油漆、印刷、涂料、塑料、电子、食品、橡胶、化工、制药厂、污水处理厂、垃圾转运站、污水处理站、卷烟厂、医院、餐饮、香精香料厂、屠宰场、公共场所等有毒有害污染物气体、恶臭气体的净化处理。
